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美国要求对中芯国际制裁升级:DUV光刻机也不能给

在美国政府松绑对中芯国际成熟制程的采购禁令,部分美国设备供应商成功获得许可,开始恢复对中芯国际的供应之后,美国当地时间3月19日,共和党两名重量级议员要求拜登政府升级对中芯国际制裁,以确保中芯国际无法获取关键的半导体制造设备。

据《美国之音》报导,美国共和党众议员麦考尔(Michael McCaul)和鲁比欧(Marco Rubio)已于当地时间周五联和致信美国商务部长雷蒙多(Gina Raimondo)称,基于中芯国际协助中国大陆追求“取代美国在全球的领先地位”方面发挥的作用,为保护美国的国家安全利益,要求禁止可能支持中芯国际生产半导体的货物转让。

根据报导引述该信函中的内容指出,这两位共和党众议员要求拜登政府劝说荷兰政府阻止ASML出售深紫外线(DUV)光刻机卖给中芯国际,并且还须与盟国达成协议,统一出口限制和许可权,限制类似深紫外线和极紫外(EUV)光刻等技术设备的出售。

值得注意的是,早在2018年,中芯国际就曾向ASML订购了一台可以用于7nm以下制程芯片生产的EUV光刻机,但是由于美国方面的阻挠,荷兰政府一直未向ASML发放出口许可,导致这台EUV光刻机至今仍无法向中芯国际交付。

此外,去年12月18日晚间,美国商务部又以保护美国国家安全和外交利益为由,宣布将中芯国际及其部分子公司及参股公司列入“实体清单”。这也使得美国厂商要想供货中芯国际,必须要取得美国商务部的许可证。并且,美国商务部有特别指出,对于10nm及以下先进工艺所需的物品都会直接拒绝。

不过在3月1日,业内传出消息称,中芯国际已获得部分美国设备厂商供应14nm及以上成熟制程设备的供应许可,并且中芯国际之前一直有申请但未获通过的一类关键设备(用于14nm),此次也获得了通过。

随后在3月3日晚间,中芯国际还通过港交所发布公告,宣布公司已于2021年2月1日,就购买用于生产晶圆的ASML产品与ASML上海公司签订了经修订和重述的采购协议,根据购买的ASML产品定价计算,该协议购买ASML产品的总代价约为12亿美元。而根据随后ASML的公告,此次采购协议主要为DUV相关产品。

需要指出的是,DUV光刻机虽然不如EUV光刻机先进,但是其也能够被用于7nm制程的半导体芯片的生产。这或许也正是美议员要求阻止ASML出售深DUV光刻机卖给中芯国际的一大因素。

同时,美议员的信函中还要求将已被列入“实体清单”内的中芯国际,同华为一样,纳入去年8月所修订的“外国制造直接产品规则”,以确保中芯国际无法从世界任何地方获得关键半导体制造设备。

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