美国要求对中芯国际制裁升级：DUV光刻机也不能给

在美国政府松绑对中芯国际成熟制程的采购禁令，部分美国设备供应商成功获得许可，开始恢复对中芯国际的供应之后，美国当地时间3月19日，共和党两名重量级议员要求拜登政府升级对中芯国际制裁，以确保中芯国际无法获取关键的半导体制造设备。

据《美国之音》报导，美国共和党众议员麦考尔（Michael McCaul）和鲁比欧（Marco Rubio）已于当地时间周五联和致信美国商务部长雷蒙多（Gina Raimondo）称，基于中芯国际协助中国大陆追求“取代美国在全球的领先地位”方面发挥的作用，为保护美国的国家安全利益，要求禁止可能支持中芯国际生产半导体的货物转让。

根据报导引述该信函中的内容指出，这两位共和党众议员要求拜登政府劝说荷兰政府阻止ASML出售深紫外线(DUV)光刻机卖给中芯国际，并且还须与盟国达成协议，统一出口限制和许可权，限制类似深紫外线和极紫外（EUV）光刻等技术设备的出售。

值得注意的是，早在2018年，中芯国际就曾向ASML订购了一台可以用于7nm以下制程芯片生产的EUV光刻机，但是由于美国方面的阻挠，荷兰政府一直未向ASML发放出口许可，导致这台EUV光刻机至今仍无法向中芯国际交付。

此外，去年12月18日晚间，美国商务部又以保护美国国家安全和外交利益为由，宣布将中芯国际及其部分子公司及参股公司列入“实体清单”。这也使得美国厂商要想供货中芯国际，必须要取得美国商务部的许可证。并且，美国商务部有特别指出，对于10nm及以下先进工艺所需的物品都会直接拒绝。

不过在3月1日，业内传出消息称，中芯国际已获得部分美国设备厂商供应14nm及以上成熟制程设备的供应许可，并且中芯国际之前一直有申请但未获通过的一类关键设备（用于14nm），此次也获得了通过。

随后在3月3日晚间，中芯国际还通过港交所发布公告，宣布公司已于2021年2月1日，就购买用于生产晶圆的ASML产品与ASML上海公司签订了经修订和重述的采购协议，根据购买的ASML产品定价计算，该协议购买ASML产品的总代价约为12亿美元。而根据随后ASML的公告，此次采购协议主要为DUV相关产品。

需要指出的是，DUV光刻机虽然不如EUV光刻机先进，但是其也能够被用于7nm制程的半导体芯片的生产。这或许也正是美议员要求阻止ASML出售深DUV光刻机卖给中芯国际的一大因素。

同时，美议员的信函中还要求将已被列入“实体清单”内的中芯国际，同华为一样，纳入去年8月所修订的“外国制造直接产品规则”，以确保中芯国际无法从世界任何地方获得关键半导体制造设备。