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南大光电ArF光刻胶产品再次通过客户认证

【TechWeb】6月1日消息,江苏南大光电材料股份有限公司发布公告称,宁波南大光电材料有限公司(以下简称“宁波南大光电”)自主研发的ArF光刻胶产品继2020年12月在一家存储芯片制造企业的50nm闪存平台上通过认证后,近日又在逻辑芯片制造企业55nm技术节点的产品上取得了认证突破。

据悉本次认证系选择客户55nm技术节点逻辑芯片产品的工艺进行验证,宁波南大光电研发的ArF光刻胶的测试良率结果符合要求,表明其具备55nm平台后段金属布线层的工艺要求。

ArF光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料,可以用于90nm-14nm 甚至7nm技术节点的集成电路制造工艺。广泛应用于高端芯片制造(如逻辑芯片、存储芯片、AI 芯片、5G 芯片和云计算芯片等)。ArF光刻胶的市场前景好于预期。随着国内IC行业的快速发展,自主创新和国产化步伐的加快,以及先进制程工艺的应用,将大大拉动光刻胶的用量。

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