盛美半导体首台清洗设备入驻芯物科技
2021.06.16 10:55:01来源:
TechWeb.com.cn
【TechWeb】6月16日消息,2021年6月7日,上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺设备搬入仪式在新傲工厂举行,盛美半导体设备(上海)股份有限公司首台清洗设备入驻芯物科技。
据国家智能传感器创新中心负责人在致辞时介绍,12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台超过80%的设备均采用国产设备,为国产装备提供验证平台,加速传感器产业链国产化,实现自主可控。
王晖先生在致辞时说:“能够获得和芯物科技一起成长的机会,我代表盛美向芯物科技表示衷心的感谢!在这个充满机会与挑战的时代,期待未来和芯物科技一起,开发一些全球领先的差异化特色工艺和设备,把中国的MEMS做到世界前列!”
盛美本次进驻芯物科技的设备为前道刷洗设备,该设备采用单片腔体对晶圆正背面依工序清洗,可进行包括晶圆背面刷洗、晶圆边缘刷洗、正背面二流体清洗等清洗工序。设备占地面积小,产能高,稳定性强,多种清洗方式灵活可选,且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。
您可能也感兴趣:
官方微博/微信

每日头条、业界资讯、热点资讯、八卦爆料,全天跟踪微博播报。各种爆料、内幕、花边、资讯一网打尽。百万互联网粉丝互动参与,TechWeb官方微博期待您的关注。

想在手机上看科技资讯和科技八卦吗?
想第一时间看独家爆料和深度报道吗?
请关注TechWeb官方微信公众帐号:
1.用手机扫左侧二维码;
2.在添加朋友里,搜索关注TechWeb。
为您推荐
亏损的京东修炼内功 降本增效成未来发展关键词
2022-05-18
外媒称苹果MR头显遭遇技术和领导双重挑战 CEO库克很少到访研发团队
2022-05-18
Argo AI在迈阿密和奥斯汀开展无人驾驶汽车测试
2022-05-18
微信及WeChat合并月活用户数达12.883亿 同比增长3.8%
2022-05-18
腾讯一季度营收1354.71亿元 同比持平
2022-05-18
外媒:韩国将公布汽车芯片自研路线图
2022-05-18
Silicon Labs面向嵌入式物联网应用推出全新超低功耗和高性能PG23 MCU
2022-05-18
现代汽车计划在韩国投资21万亿韩元 用于扩充电动汽车产能及技术研发
2022-05-18
马斯克盛赞微信:基本什么都能做到
2022-05-18
更多
- 欧瑞博发布全新HomeAI操作系统 升级小欧管家智能语音助理
- 唯一艺术一周年宣布打造数字艺术全产业链生态
- 统信软件宣布旗下深度社区全新规划 打造中国主导的全球桌面系统根社区
- 微信及WeChat合并月活用户数达12.883亿 同比增长3.8%
- 腾讯一季度营收1354.71亿元 同比持平
- Silicon Labs面向嵌入式物联网应用推出全新超低功耗和高性能PG23 MCU
- 联手这三家省博 Google艺术与文化“身临其境博物馆”第三季上线
- 2022搜狐科技峰会:李毅中、杨学山等大咖共话科技发展新趋势
- 张朝阳对话曹则贤:基础学科知识应成青年人标配
- “云上觅宝”小程序上线支付宝 海内外知名展览可手机VR观展