关于 三星5nm 的文章
外媒:三星寻求加快5nm及3nm芯片制程工艺研发

外媒最新的报道显示,在芯片制程工艺方面落后台积电一段时间的三星,正在寻求加强与极紫外光刻机供应商阿斯麦的合作,以加快5nm及3nm制程工艺的研发。

三星5nm工艺有望2020年量产:逻辑效率比7nm提高25%

三星晶圆厂已经认证了Cadence和Synopsys的全流程工具,该工具采用了极紫外光刻(EUV)的5LPE工艺技术。

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