从外媒的报道来看，已推出多款极紫外光刻机的阿斯麦，还在研发高数值孔径的极紫外光刻机NXE:5000系列，设计已经基本完成，预计2022年开始商用。

寻求在全球芯片代工市场获得更大份额的三星，希望获得阿斯麦更多的极紫外光刻机，先于台积电获得高数值孔径极紫外光刻机，以便在技术上领先。

外媒最新援引产业链消息人士的透露报道称，台积电已向阿斯麦下达了2021的极紫外光刻机订单，至少有13台，从单台的价格来看，订单约为19.5亿欧元。

阿斯麦是在三季度的财报中披露，他们全新的极紫外光刻机TWINSCAN NXE:3600D将在明年年中开始出货的，较2019年年报中披露的2022年年初提前了半年。

阿斯麦CEO兼总裁彼得·温尼克透露，他们的极紫外光刻机在三季度出货10台，在这一季度确定收入的有14台，新接到3台订单，订单金额5.95亿美元。

消息人士透露，台积电正在加快研发极紫外光刻机工艺，他们预计到明年年底，极紫外光刻机的累计采购量将达到约55台，他们目前拥有的光刻机预计有38台。

阿斯麦发布的财报显示，他们在今年一季度仅出货4台极紫外光刻机，能够确认收入的则只有两台，同比环比均有明显下滑，但需求依旧强劲。

国外媒体的报道显示，部分极紫外光刻机制造设备供应商的业绩，目前并未受到明显的影响，有两家3月份的营收同比环比均还有增长。

荷兰的阿斯麦（ASML）公司，是目前全球唯一能制造极紫外光刻机的厂商，他们的报告显示，2019他们共向用户交付了26台极紫外光刻机，营收31.43亿美元。