关于 EVU极紫外光刻 的文章
雄起了台积电!EVU极紫外光刻 二代7nm+量产

台积电官方宣布,已经开始批量生产7nm N7+工艺,这是台积电第一次、也是行业第一次量产EUV极紫外光刻技术,意义非凡,也领先Intel、三星一大步。

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