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半导体丨至纯科技及全资和控股子公司共获得367.51万元政府补助

【TechWeb】9月27日消息,上交所上市公司上海至纯洁净系统科技股份有限公司(以下简称“至纯科技”,股票代码603690)发布公告称,该公司及其全资和控股子公司合计收到了3675093.08元政府补助。

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至纯科技从事的主要业务是高纯工艺系统及半导体装备以及光纤传感及光电子元器件。

其中,高纯工艺系统产品主要包括:气体高纯工艺设备及系统、化学品高纯工艺设备及系统以及物料及水系统,广泛应用于集成电路、微机电系统、平板显示、光伏、半导体照明、光纤、生物制药、食品饮料等领域。半导体装备产品主要包括:湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备,主要应用于集成电路、微机电系统、平板显示等领域。(小狐狸)

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