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台积电预计极紫外光刻机累计采购量在明年将超过50台

【TechWeb】9月28日消息,据英文媒体报道,在8月份的全球技术论坛期间,台积电曾透露全球目前在运行的极紫外光刻机中,他们约有一半,产能则是预计占全球的60%。

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台积电是从第二代的7nm工艺开始采用极紫外光刻机的,7nm之后的工艺,就将全部采用极紫外光刻机,随着5nm工艺的大规模投产,6nm工艺、第二代5nm工艺和3nm工艺开始筹备量产,他们对极紫外光刻机的需求也越来越大。

而消息人士透露,台积电正在加快研发极紫外光刻工艺,他们预计到明年年底,极紫外光刻机的累计采购量将达到约55台。

阿斯麦是目前全球唯一能制造极紫外光刻机的厂商,台积电所需要的极紫外光刻机,也就全部来自于阿斯麦。

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阿斯麦极紫外光刻机

目前还不清楚台积电已经向阿斯麦采购了多少台极紫外光刻机,但从阿斯麦的年报来看,他们从2012年就已开始交付极紫外光刻机,到今年二季度结束时,他们已累计向用户交付76台极紫外光刻机,按50%的比例计算,台积电目前拥有的极紫外光刻机,就是在38台左右。

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