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外媒:三星希望先于台积电获得阿斯麦高数值孔径EUV光刻机

【TechWeb】12月2日消息,据国外媒体报道,全球第一大芯片代工商台积电,能够获得大量的芯片代工订单,除了领先的制程工艺,还得益于阿斯麦所供应的大量先进的光刻机,在第二代7nm和5nm所需要的极紫外光刻机方面,尤其如此,他们获得的极紫外光刻机的数量,远多于三星。

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寻求在全球芯片代工市场获得更大份额的三星,也在寻求获得阿斯麦更多的极紫外光刻机,希望能先于台积电获得高数值孔径极紫外光刻机。

外媒是在报道阿斯麦高管到访三星电子并参观三星电子的半导体工厂时,表示三星希望获得阿斯麦更多的极紫外光刻机、先于台积电获得高数值孔径极紫外光刻机的。

从外媒的报道来看,阿斯麦的高管是在上周到访三星电子的,包括了CEO彼得·维尼克(Peter Wennink),他们与三星电子副董事长金奇南及多位高管进行了会谈,但在今年10月曾参观阿斯麦工厂的三星电子副会长李在镕,并未参加相关的会谈。

外媒在报道中表示,三星电子寻求与阿斯麦加强在技术和研发方面的合作,业内人士认为,三星电子向阿斯麦提出了供应更多极紫外光刻机的要求,也讨论了两家公司在下一代极紫外光刻机研发方面的合作事宜。

阿斯麦的下一代极紫外光刻机,应该就是外媒在报道中提到的高数值孔径(High-Na)的极紫外光刻机,将提高半导体微细加工所需的电路分辨率,阿斯麦计划在2023年推出这一光刻机的原型机,单台的售价预计将达到5000亿韩元,折合约4.5亿美元,三星电子希望投资阿斯麦这一光刻机的研发,也希望先于台积电获得这一类型的极紫外光刻机,以便在技术上领先。

外媒在报道中还提到,三星电子希望与阿斯麦建立技术联盟,确保扩大下一代极紫外光刻机的供应,由于下一代极紫外光刻机的研发需要大量的投资,对阿斯麦而言,与三星在投资方面进行合作是有必要的。

除了三星电子,阿斯麦的高管此次也到访了存储芯片制造商SK海力士,同SK海力士的总裁李锡熙(Lee Suk-hee)进行了会谈,消息人士透露他们讨论了扩大极紫外光刻机供应及合作方面的事宜。

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