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2023-01-27
阿斯麦CEO透露高数值孔径极紫外光刻机2024年开始出货
2022.11.17 17:19:28来源:
TechWeb.com.cn
【TechWeb】11月17日消息，据国外媒体报道，光刻机制造商阿斯麦的CEO兼总裁彼得·维尼克(Peter Wennink)，在本周前往了韩国，出席华城半导体集群的动工仪式。
而外媒的报道显示，在韩国期间，除了与韩国相关的业务，彼得·维尼克还透露了他们下一代极紫外光刻机，也就是多家客户期待的高数值孔径极紫外光刻机的消息。
从外媒的报道来看，彼得·维尼克是在当地时间周二于首尔的一场新闻发布会上，透露高数值孔径极紫外光刻机的消息的，他透露将在2024年开始出货。
此外，彼得·维尼克在会上还透露，就长期而言，他们计划每年生产20台高数值孔径极紫外光刻机。
阿斯麦官网公布的消息显示，他们的高数值孔径极紫外光刻机，将命名为EXE系列，数值孔径将由0.33增至0.55，用于2nm及以下的制程工艺。
从阿斯麦此前在财报中披露的消息来看，他们的EXE系列高数值孔径极紫外光刻机，已有TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200两个型号，前者在2018年就已开始获得客户的订单，后者在去年四季度也获得了首台订单。
虽然彼得·维尼克透露他们的高数值孔径极紫外光刻机在2024年就将开始出货，但后续还需要进行安装和测试，因而他们的客户还需要一段时间才能投入生产。
阿斯麦在官网上也披露，他们向客户供应的首台以研发为目的的高数值孔径极紫外光刻机，预计在2023年底出货，用于大规模生产的，预计2025年开始在客户的工厂全面投入运营。
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