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阿斯麦CEO透露高数值孔径极紫外光刻机2024年开始出货

【TechWeb】11月17日消息,据国外媒体报道,光刻机制造商阿斯麦的CEO兼总裁彼得·维尼克(Peter Wennink),在本周前往了韩国,出席华城半导体集群的动工仪式。

而外媒的报道显示,在韩国期间,除了与韩国相关的业务,彼得·维尼克还透露了他们下一代极紫外光刻机,也就是多家客户期待的高数值孔径极紫外光刻机的消息。

从外媒的报道来看,彼得·维尼克是在当地时间周二于首尔的一场新闻发布会上,透露高数值孔径极紫外光刻机的消息的,他透露将在2024年开始出货。

此外,彼得·维尼克在会上还透露,就长期而言,他们计划每年生产20台高数值孔径极紫外光刻机。

阿斯麦官网公布的消息显示,他们的高数值孔径极紫外光刻机,将命名为EXE系列,数值孔径将由0.33增至0.55,用于2nm及以下的制程工艺。

从阿斯麦此前在财报中披露的消息来看,他们的EXE系列高数值孔径极紫外光刻机,已有TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200两个型号,前者在2018年就已开始获得客户的订单,后者在去年四季度也获得了首台订单。

虽然彼得·维尼克透露他们的高数值孔径极紫外光刻机在2024年就将开始出货,但后续还需要进行安装和测试,因而他们的客户还需要一段时间才能投入生产。

阿斯麦在官网上也披露,他们向客户供应的首台以研发为目的的高数值孔径极紫外光刻机,预计在2023年底出货,用于大规模生产的,预计2025年开始在客户的工厂全面投入运营。

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