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消息称台积电亚利桑那州工厂已开始安装首台EUV光刻机

【TechWeb】8月22日消息,据外媒报道,台积电2020年5月份宣布投资120亿美元在美国亚利桑那州建设的首座晶圆厂,已开始安装首台EUV光刻机。

不过,外媒在报道中也提到,台积电亚利桑那州的工厂,目前仍需要大量的工人安装精密的设备,还需要2000名员工。

台积电是在2020年的5月15日,宣布在亚利桑那州建设晶圆厂的。计划2021年开始建设,目标是2024年投产,当时是计划建成之后采用5nm制程工艺为相关的客户代工晶圆,月产能20000片晶圆,预计2021年-2029年投资120亿美元。

而在去年的12月6日,台积电宣布亚利桑那州工厂将升级到4nm制程工艺,并开始建设第二座晶圆厂,建成之后采用3nm制程工艺为相关的客户代工晶圆,两座晶圆厂的投资将接近400亿美元。

就动工的时间来看,已开始安装首台EUV光刻机的,是台积电在亚利桑那州的首座工厂,也就是2020年5月份宣布建设的那一座晶圆厂。

EUV光刻机是5nm、4nm、3nm等先进制程工艺必不可少的设备,对晶圆代工至关重要,当前仅阿斯麦能制造,台积电也已从阿斯麦采购了大量的EUV光刻机,未来还需要大量采购,用于3nm、2nm等制程工艺的代工。

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